Фридрих Гатри изобрел диод в 1873 году, но не применил его на практике. Томас Эдисон самостоятельно разработал его в 1880 году, а затем использовал его в своем патенте на лампу накаливания 1883 года.
Джон Амброз Флеминг получил первый патент на сам диод в 1904 году.
Все эти ранние диоды были вакуумными ламповыми диодами. Вакуумный ламповый диод был самой распространенной формой до 1950-х годов, когда полупроводниковые диоды вытеснили их.
Полупроводниковые диоды были изобретены вскоре после вакуумных ламповых диодов, но были недостаточно стабильны для практического использования до середины 20-го века.
Карл Фердинанд Браун изобрел первый полупроводниковый диод в 1874 году и запатентовал его в 1899 году.